產(chǎn)品分類
Product CategoryINFICON英富麗LDS3000氦氣泄漏檢測(cè)器是一款專為真空檢漏場(chǎng)景打造的高性能檢測(cè)設(shè)備,作為LDS2010的升級(jí)迭代產(chǎn)品,它在檢測(cè)精度、響應(yīng)速度與集成靈活性上實(shí)現(xiàn)了全面突破,成為汽車、制冷、半導(dǎo)體等行業(yè)自動(dòng)化檢漏系統(tǒng)的核心組件。其緊湊設(shè)計(jì)與高效性能的結(jié)合,既滿足了工業(yè)產(chǎn)線對(duì)空間利用率的嚴(yán)苛要求,又能為高精度密封檢測(cè)提供可靠支持。
多模式高精度檢測(cè)能力LDS3000配備四種檢測(cè)模式,可覆蓋從微泄漏到粗泄漏的全范圍檢測(cè)需求:ULTRA模式下最小可檢測(cè)泄漏率<1E-11 mbar·l/s,F(xiàn)INE模式<5E-11 mbar·l/s,GROSS模式<1E-9 mbar·l/s,Sniffer模式<1E-7 mbar·l/s,測(cè)量單位支持mbar·l/s、Pa•m3/s、Atm cm3等多種形式^。這種多模式設(shè)計(jì)使其既能滿足半導(dǎo)體制造中極限真空的微泄漏檢測(cè),也能應(yīng)對(duì)汽車管路等部件的粗泄漏排查。
EcoBoost節(jié)能省氣技術(shù)搭載EcoBoost技術(shù),通過智能算法實(shí)時(shí)預(yù)測(cè)示蹤氣體背景變化,可在測(cè)試周期早期精準(zhǔn)識(shí)別泄漏點(diǎn),同時(shí)將氦氣消耗量降低90%,每年可減少約5000噸溫室氣體排放^。配合INFICON提供的氦氣計(jì)算工具,用戶可根據(jù)測(cè)試參數(shù)量化成本節(jié)省,實(shí)現(xiàn)綠色高效的檢漏作業(yè)。
高效集成與便捷操作設(shè)備尺寸僅為330×240×280mm,可無縫集成到各類自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)中,支持最長30米的電纜連接距離,通過模擬量、數(shù)字量及現(xiàn)場(chǎng)總線接口實(shí)現(xiàn)多樣化通信^。采用I·CAL算法優(yōu)化響應(yīng)速度,新型校準(zhǔn)程序可在20秒內(nèi)完成校準(zhǔn),雙燈絲離子源提供3年保修期,顯著降低長期使用成本。
汽車制造領(lǐng)域廣泛應(yīng)用于安全氣囊部件、制動(dòng)管路、燃油管路及液壓部件的密封性檢測(cè),確保汽車關(guān)鍵系統(tǒng)無泄漏風(fēng)險(xiǎn),提升整車安全性與可靠性。在新能源汽車生產(chǎn)中,可用于電池冷卻系統(tǒng)、氫燃料管路的高精度檢漏,保障新能源動(dòng)力系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
制冷與空調(diào)行業(yè)針對(duì)蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)等制冷核心部件,LDS3000可快速檢測(cè)微小泄漏,避免制冷劑流失導(dǎo)致的能耗增加與性能下降。其衍生型號(hào)LDS3000 AQ采用累積檢漏法,可使用合成氣體或氦氣,以接近空氣測(cè)試的成本實(shí)現(xiàn)與真空測(cè)試相當(dāng)?shù)木?,特別適合大型空調(diào)組件、加熱部件的泄漏檢測(cè)。
半導(dǎo)體與精密制造在半導(dǎo)體晶圓加工設(shè)備、真空腔體的維護(hù)與生產(chǎn)中,ULTRA模式的超高靈敏度可檢測(cè)到<1E-11 mbar·l/s的微泄漏,保障真空環(huán)境穩(wěn)定性,避免因泄漏導(dǎo)致的工藝缺陷與產(chǎn)品良率下降。同時(shí),設(shè)備的緊湊設(shè)計(jì)與遠(yuǎn)程控制能力,適配半導(dǎo)體潔凈車間的特殊環(huán)境要求。
作為LDS3000的產(chǎn)品變體,LDS3000 AQ創(chuàng)新采用累積檢漏技術(shù),支持合成氣體(95%N?+5%H?)與氦氣雙模式檢測(cè),最小可檢漏率低至10?? mbar·l/s^。該型號(hào)不受溫度與濕度影響,測(cè)試結(jié)果重復(fù)性高,可替代傳統(tǒng)壓力衰減法,為溫暖、潮濕或大型部件提供可靠檢測(cè)方案,同時(shí)將檢測(cè)成本降低至接近空氣測(cè)試水平。
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